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Mitutoyo开发出世界上精度最高的非接触式影像测量仪
发布时间:2016-08-30   点击次数:1251次

TESA测高仪介绍Mitutoyo开发出世界上最高测量精度为(0.3L/1000μmL为被测量物体长度)的非接触式影像测量仪。

TESA测高仪,大理石平台,数显高度尺


该公司计划将其做为 “QuickVision系列的最高端机种“Ultra QV”200010月推向市场。标准系统价格为3000万日元,预计第一年向半导、平面显示器以及精密模具制造商等销售20台。另外,该产品还将参加2000614日~16日在横浜举行的纳米级光学技术博览2000展览会。
该产品,将用于高精度3维测量仪的高刚性静压空气轴承用于各轴的定向器,从而大幅度提高了直线精度。另外,在基准测长系统中,还配备了采用超高精度结晶玻璃 的光学式线性编码器,这种超高精度结晶化玻璃的热膨张系数为零,系该公司独自开发。另外,在统一了主要结构零部件的材质的同时,还将结构本身按照热对象进 行设计,从而减少了温度变化所带来的影响。通过这些措施实了目前世界最高的测量精度。测量范围为XY350mm,Z轴为150mm,最小显示量为 0.01μm



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