该公司计划将其做为 “QuickVision系列”的最高端机种“Ultra QV”2000年10月推向市场。标准系统价格为3000万日元,预计第一年向半导、平面显示器以及精密模具制造商等销售20台。另外,该产品还将参加2000年6月14日~16日在横浜举行的“纳米级光学技术博览2000”展览会。
该产品,将用于高精度3维测量仪的高刚性静压空气轴承用于各轴的定向器,从而大幅度提高了直线精度。另外,在基准测长系统中,还配备了采用超高精度结晶玻璃 的光学式线性编码器,这种超高精度结晶化玻璃的热膨张系数为零,系该公司独自开发。另外,在统一了主要结构零部件的材质的同时,还将结构本身按照热对象进 行设计,从而减少了温度变化所带来的影响。通过这些措施实了目前世界最高的测量精度。测量范围为X,Y轴350mm,Z轴为150mm,最小显示量为 0.01μm。